● 能除去被动隔振所无法除去的频带域上的振动我们制造的每一个MAPS 系列的产品都有两个空气压缩振荡器;
我们制造的每一个MAPS系列的产品都有两个空气压缩振荡器;一个针对水平方向,一个针对垂直方向。如果您使用MAPS系列产品,可以体会到很好的防震、主动抑制振动和保持精密位置的性能。MAPS使这一切成为可能。
● MAPS 消除振动的频率范围是任何其他系统无法实现的
在被动防震系统中固有频率引起的共振会造成很大的麻烦,共振所产生的振动是原有振动的3倍以上。如果使用MAPS,共振是能够避免的。因此,在同样的频率范围内能达到更好的除振效果。例如:2Hz 附近的共振能被减少到使用被动防震系统的1/30—1/100。
●使用标准的MAPS 可以为一个10 吨以上的设备提供防震
由于功能的扩展,近期精密设备有着大型化的趋势发展,一些仪器的重量已经达到10吨或者更重。因此大型设备很难保持结构的固有频率。这是为什么主动防震系统在低频范围较好性能的必要原因。
●设备在一个运动的移动平台上时依然能保持稳定
如果一台设备随X、Y 移动平台运动,设备会大幅度的摇摆,如果放在被动防震系统上,振动会被放大。但是如果使用主动防震系统,主动防震系统使用反馈控制来确保位置的稳定,振动会变得非常小。而且如果移动平台的运动能作为电信号输出,那么捕捉环境因素的影响就成为可能,因为MAPS系统能够接受输入控制,这样振动会变得更小。
● MAPS 有着很好的精确位置精度和精密水平性能
当设备的尺寸变大,倾斜同样会引起麻烦。由于本身的重量设备很容易出现倾斜,精度会受到显著的影响。使用MAPS使倾斜变小,提供一个好的工作环境,保证精度。例如,MAPS 使晶圆或者LCD 面板平稳传送成为可能。
●所有的MAPS 型号都很容易安装
我们可以根据客户的需求将所有必要功能都集成到MAPS 系列。MAPS 的安装只需要很小的空间,您可以得到不受振动影响的环境。因为MAPS 系列的控制器非常稳定,MAPS 系列产品不单纯是你们工厂的设备,还能提供你们产品销售的附加价值。
● MAPS 是您精密仪器的关键的部分
看起来有很多的客户使用防震系统只是因为对振动的担心。当超高精密、多功能和大型化在现在的出现,一个没有振动影响的环境是必须的,来展示这些精密设备在参数表格中描述的所有性能。防震系统已经成为精密系统中不可获取的一个重要的部分。
MAPS系列功能全面,隔离振动、保持位置和保证水平。它不需要很大的空间安装。MAPS 能被装配进设备。但是,在这种情况下,会有一些限制。所以从隔振性能和价格因素来讲,这个并不是好的方案。当一个新设备开始研发时,我们很愿意听取你们对设备的设想,开始设计MAPS安装空间、振动隔离性能和位置精度,这些都很有必要。
MAPS 系列规格表:
* 振动传送曲线和位置精度不仅仅受到MAPS安装地点环境因素影响,还受到MAPS上面安装的精密设备构造和运转情况的影响;
* 备注:本规格更改时,恕不另行通知;
表格以外的规格也是可行的,请和我们联系;
所有单位为mm;
MAPS外观依型号不同而不同。
MAPS-008 MAPS-016 MAPS-033 MAPS-065 MAPS-130 MAPS-240