光学隔振平台概述

发表时间：2022-03-29 14:04

光学隔振平台概述

北京茂丰光电科技有限公司一直专注于研究开发振动解决方案和引进国外的先进技术和产品，我公司能够提供全系列隔振平台，从桌面型小负载到超过数十吨的大负载，从普及型到精密型，从橡皮隔振到空气弹簧隔振，尽可能满足客户的各种需求。公司对多种多样的光学实验状况进行涉及细节的研究分析，并把从中的得来的解决方案一个一个地反馈到我们装置研发过程中。近来，隔振装置已经成为了半导体及液晶为首的精密器械制造及使用过程中不可缺少的组成部分。公司还开发研制出了可以与各种器械组合起来使用的组合式隔振装置，以及通过对传感器检测分析出的振动施加逆位相实现隔振目的，适应纳米尺度需求的主动防振装置MAPS系列等产品。凭借多年累积的隔振专业知识和技术能力，我们坚信可以为客户的高精度精密器械提供非常满意的隔振产品。

◆产品主要特征

不锈钢蜂窝状桌面

不锈钢蜂窝桌面已经发展成高性能的光学桌面，有着优良的硬度和阻尼特性，采用精密的机器抛光技术，接受指定平坦度订做。

根据客户定制桌面

长度、宽度和厚度都可以根据要求来修改；桌面上的一些附件或结构（例如通孔、图案、槽口等）也可以订做；两个以上的桌面可以被连接在一起来制造更长或更宽的桌面，或T型、L型桌面；也可以为用户提供特殊的无磁光学平台。

◆振动对精密仪器的损伤

精密仪器或光学系统都是有一个个部件组成的，每个部件都有自己的固有频率，如果外界有一个与仪器自身固有频率相同的振动传送到部件上，就产生共振，加剧仪器自身的振动，打乱原有部件的相互位置关系，进而影响到测量结果。例如，金属显微镜镜筒的固有频率是1300Hz, 当外界有1300Hz的振动传送到镜筒上，会造成镜筒轻微的弯曲，整个图像就变得模糊，所以有必要把振动隔离掉。

◆产品应用

光学方面：激光干涉仪，激光加工设备，半导体激光器，飞秒激光器，光纤对准系统，透镜检测设备等。

半导体方面：半导体/ 液晶检查设备，掩膜分析仪，电子束扫描仪器，晶圆线幅测定仪，LB薄膜制作设备，薄膜测量仪器，真空设备，真空镀膜机，单晶硅提拉设备等等。

生物医学方面：扫描显微镜，激光显微镜，光学显微镜，生物显微镜，工业显微镜，IC检查显微镜，表面形状测量显微镜，液晶制造/ 检查显微镜，电生理实验，受精实验，微操作系统，超薄切片机等等。

质量检测方面：三坐标测量仪，圆度测定仪，精密自动长度测定仪，表面粗糙度测定仪，秤量器械，硬度仪，电子天平秤，金属模型加工机，模具加工机等多种器械。

光学隔振平台选择

◆选择合适的光学隔振平台的尺寸 ◆暗室的选择

◆选择光学隔振平台桌脚的高度◆仪器架的搭配

1. 选择台面尺寸和台面厚度

光学隔振平台台面提供一系列的型号供您选择，尺寸范围从30cm×30cm 到350cm×150cm，台面厚度提供3cm-30cm。您可以根据自己需要选择合适的台面。

2. 选择气浮式桌脚或非气浮式桌脚

光学隔振平台分两种桌脚，一种是气浮式桌脚；另外一种是非气浮式桌脚。您可根据实验要求选择合适的桌脚。